特許

J-GLOBAL ID：200903095461488931

光検出装置および放射線検出装置

発明者： 岡田 聡
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-212299
公開番号（公開出願番号）：特開2003-031786
出願日： 2001年07月12日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
要約：

【要約】【課題】 基板上に形成されたキャパシタ部150やTFT部160の静電気破壊を防止する光検出装置および放射線検出装置を提供することを目的とする。【解決手段】 入射光または入射の放射線を電気信号に変換し、蓄積するキャパシタ部150と、電気信号を外部に読み出すためのTFT部160とが、基板101上に形成される光検出装置または放射線検出装置において、基板101をアモルファスカーボンとしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

入射光を電気信号に変換し、蓄積するキャパシタ部と、該電気信号を外部に読み出すためのTFT部とが、基板上に形成された光検出装置において、前記基板をアモルファスカーボンとしたことを特徴とする光検出装置。

IPC (8件)：

H01L 27/146 ,  G01T 1/20 ,  G01T 1/24 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/09 ,  H01L 31/10 ,  H04N 5/321 ,  H04N 5/335

FI (8件)：

G01T 1/20 E ,  G01T 1/24 ,  H04N 5/321 ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 C ,  H01L 31/00 A ,  H01L 27/14 K ,  H01L 31/10 A

Fターム (52件)：

2G088EE01 ,  2G088FF02 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ32 ,  2G088JJ35 ,  2G088JJ37 ,  2G088KK32 ,  2G088LL11 ,  2G088LL12 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118CA14 ,  4M118CB05 ,  4M118CB11 ,  4M118DD09 ,  4M118FB03 ,  4M118FB09 ,  4M118FB13 ,  4M118FB16 ,  5C024AX11 ,  5C024AX17 ,  5C024CY47 ,  5C024EX03 ,  5C024GX06 ,  5C024GX07 ,  5C024GY31 ,  5C024HX35 ,  5C024HX44 ,  5C024HX47 ,  5C024HX50 ,  5F049MA05 ,  5F049MB05 ,  5F049NA20 ,  5F049NB05 ,  5F049RA02 ,  5F049RA08 ,  5F049SS03 ,  5F049SZ20 ,  5F049WA07 ,  5F088AA04 ,  5F088AB05 ,  5F088BA10 ,  5F088BB03 ,  5F088BB07 ,  5F088EA04 ,  5F088EA08 ,  5F088GA02 ,  5F088HA15