特許
J-GLOBAL ID：200903095471457015
静電マイクロリレー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
青山 葆
, 古川 泰通
, 前田 厚司
, 中嶋 隆宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-135813
公開番号（公開出願番号）：特開2004-281412
出願日： 2004年04月30日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：
【課題】 小型で良好な高周波特性とする。 【解決手段】 固定電極12を、信号線13,14の両側に等距離で設けると共に、高周波GND電極と共用する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
固定基板の固定電極と、固定基板に弾性支持部を介して支持した可動基板の可動電極との間に発生させる静電引力に基いて可動基板を駆動し、固定基板に形成した少なくとも2つの信号線にそれぞれ設けた固定接点に、前記可動基板に絶縁膜を介して形成した可動接点を接離することにより、前記信号線を電気的に開閉するようにした静電マイクロリレーにおいて、
前記固定電極を、信号線の両側に等距離で設けると共に、高周波GND電極と共用したことを特徴とする静電マイクロリレー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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