特許

J-GLOBAL ID：200903095472644129

Zチルトステージ

発明者： 森田 洋
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (2件)： 後藤 洋介 ,  池田 憲保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-205105
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047852
出願日： 2002年07月15日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】軽量、小型、偏平構造を実現できるZチルトステージを提供する。【解決手段】Zチルトステージは、ベース10、これに搭載されるテーブル20、テーブルを垂直方向に位置決め可能に駆動するためのZアクチュエータ30、テーブルを傾斜方向に位置決め可能に駆動するための2つのチルトアクチュエータ40を含、む。Zアクチュエータ、チルトアクチュエータはそれぞれ、ベース面に平行な運動をベース面に垂直な運動に変換する変換機構を含む。Zアクチュエータ、チルトアクチュエータはそれぞれ、それらによるベース面に平行な運動の方向が互いに平行になるように配置されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ベースと、該ベースに搭載されるテーブルと、該テーブルを垂直方向に位置決め可能に駆動するためのZアクチュエータと、前記テーブルを傾斜方向に位置決め可能に駆動するための少なくとも2つのチルトアクチュエータとを含み、 前記Zアクチュエータ、前記チルトアクチュエータはそれぞれ、前記ベース面に平行な運動を前記ベース面に垂直な運動に変換する変換機構を含み、 前記Zアクチュエータ、前記チルトアクチュエータはそれぞれ、それらによる前記ベース面に平行な運動の方向が互いに平行になるように配置されていることを特徴とするZチルトステージ。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  G03F7/207 ,  G12B5/00 ,  H01L21/027

FI (4件)：

H01L21/68 K ,  G03F7/207 H ,  G12B5/00 T ,  H01L21/30 503A

Fターム (19件)：

2F078CA08 ,  2F078CB08 ,  2F078CB11 ,  2F078CC02 ,  2F078CC07 ,  2F078CC20 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA57 ,  5F031HA58 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031LA11 ,  5F031LA15 ,  5F031MA27 ,  5F031PA30 ,  5F046CC05 ,  5F046CC11 ,  5F046CC13

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-202019
  
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-321993   出願人：株式会社日立製作所
• 特許第2601834号