特許

J-GLOBAL ID：200903095474097591

気体清浄化機能を有する消音装置

発明者： 坂田 国広 ,  林 理 ,  野中 浩 ,  徳永 慎吾 ,  堤 宏一郎 ,  藤原 護朗 ,  益田 光信 ,  服部 進司 ,  入江 直樹
出願人/特許権者： 九州日本電気株式会社 ,  株式会社タクマ
代理人 (1件)： 中尾 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-177117
公開番号（公開出願番号）：特開平9-026177
出願日： 1995年07月13日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：

【要約】【目的】クリーンルーム合理化および既存のクリーンルームの機能の向上。【構成】吸音材にイオン交換繊維を用い気体の流路に装着する。吸音効果に併せてイオン交換繊維の気体汚染物質除去作用を利用し気体を清浄化する。吸音機能と気体清浄化機能との多機能素材として用いるので、別個に設置する必要のあった、気体清浄化装置と消音装置とをまとめてコンパクトに形成でき、有利である。とくに電子産業の半導体製造用クリーンルームの送風機に好適である。クリーンルームを新設する場合は勿論、既設のクリーンルームに取付けると、設置スペースをそのままにして、経済的に気体汚染物質の除去機能が追加され、より高度な製品を製造できるようにグレードアップできる。

請求項（抜粋）：

吸音材にイオン交換繊維を用いて気体の流路に装着することを特徴とする、気体清浄化機能を有する消音装置。

IPC (3件)：

F24F 7/06 ,  F01N 1/24 ,  F02M 35/14

FI (3件)：

F24F 7/06 C ,  F01N 1/24 A ,  F02M 35/14 G