特許
J-GLOBAL ID：200903095474930293
マイクロスイッチ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
志賀 正武
, 渡邊 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-291698
公開番号（公開出願番号）：特開2004-079534
出願日： 2003年08月11日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
【課題】 高いオン/オフ比率(on/off ratio)及び絶縁度(isolation)を有し、その構造が単純で容易な製造方法によって製造できるマイクロスイッチを提供する。【解決手段】 マイクロスイッチが開示される。誘電体膜は、基板の上面に配され、その所定領域の両側端あるいは一側端にヒンジ部が形成され上下に揺動できる揺動領域を有する。導電体膜は、揺動領域の上面所定の領域に形成されている。第1及び第2の導電体は、導電体膜の上方に所定の距離が離隔されて配される。複数の下部電極は、揺動領域の上面に配される。複数の上部電極は複数の下部電極の上方に所定の距離が離隔されて配され、下部電極と互いに静電気力が発生する際に導電体膜を上部へ移動させて第1及び第2の導電体と結合させることにより抵抗を減少させ、第1及び第2の導電体間に通電が許容されるようにする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板と、
該基板の上面に配され、その所定領域の両側端にヒンジ部が形成され上下に揺動できる揺動領域を有する誘電体膜と、
前記揺動領域の上面の所定領域に配されている導電体膜と、
該導電体膜の上面に形成される誘電体フィルムと、
該誘電体フィルムの上方に所定の距離が離隔されて配される第1及び第2の導電体と、
前記揺動領域の上面に配されている複数の下部電極と、
前記複数の下部電極の上方に所定の距離が離隔されて配され、前記下部電極との間に静電気力が生じる際に前記導電体膜及び誘電体フィルムを上部に移動させて前記第1及び第2の導電体と結合させることにより静電容量を増大させ、前記第1及び第2の導電体間に交流信号の流れが許容されるようにするための複数の上部電極と、を含むことを特徴とするマイクロスイッチ。
IPC (3件)：
H01H59/00
, B81B3/00
, H01L41/09
H01H59/00
, B81B3/00
, H01L41/08 C
