特許

J-GLOBAL ID：200903095475452433

液晶表示装置における非線形能動素子の構造及びその製造方法

発明者： 柴田 清人
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-016489
公開番号（公開出願番号）：特開平5-210122
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：

【要約】【目的】液晶表示装置のMIM或いはMSIタイプの非線形能動素子において、下部電極の段差部分における素子の短絡破壊を防止し、素子の初期不良を大幅に軽減し、歩留りの向上を図ることができる手段を提供することを目的とする。【構成】非線形能動素子の下部電極13の上にポジレジスト14を全面塗布し、下部電極13をマスクとして裏面露光を行い、レジスト現像の工程を経て、下部電極13の段差部分を含む電極部分13aを一部露出した状態において、陽極酸化を行って前記露出した部分を不動態化層16としたものである。

請求項（抜粋）：

金属-絶縁層-金属あるいは金属-半導電性絶縁層-金属のタイプからなる非線形能動素子を有するアクティブマトリクス液晶表示装置において、該非線形能動素子の下部電極の段差部分には、絶縁化あるいは不動態化してなる層を形成したことを特徴とする液晶表示装置における非線形能動素子の構造。