特許
J-GLOBAL ID：200903095475710181
近接場顕微装置用探針の作製法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-064101
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257815
出願日： 1996年03月21日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】開口径を制御した近接場顕微装置用探針を容易に作製する。【解決手段】導光性ファイバー1をメッキ液3を入れた容器4に底面のシリコンゴム2に重り6で負荷量を調節して接触し、無電解メッキで金属被覆する。
請求項（抜粋）：
先端の形状を加工した導光性ファイバーに金属を無電解メッキ法により被覆することを特徴とする近接場顕微装置用探針の作製法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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