特許

J-GLOBAL ID：200903095486654909

端面研磨装置におけるノッチ研磨装置のウエハ揺動機構

発明者： 箱守 駿二
出願人/特許権者： スピードファム・アイペック株式会社
代理人 (1件)： 中林 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005570
公開番号（公開出願番号）：特開2000-202750
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
要約：

【要約】【課題】 ウエハのノッチを研磨するときにノッチを中心にして上下動させてノッチの厚み方向を幅広く研磨するようにした端面研磨装置におけるノッチ研磨装置のウエハ揺動機構を提供する。【解決手段】 上面にウエハを吸着する吸着部と、回転可能なノッチ研磨用パッドが設けられた研磨部とから構成され、ノッチをノッチ研磨用パッドで研磨する時に、吸着盤を、それに吸着したノッチを中心として上下方向に揺動可能にして、ノッチをその厚み方向に幅広く研磨できるようにした。

請求項（抜粋）：

カセットに収納されたウエハを供給する供給部と、供給されたウエハのノッチを研磨するノッチ研磨部と、ウエハの周面を研磨する研磨部と、この研磨部で研磨されたウエハを収納するカセットを有する排出部とからなる端面研磨装置において、前記ノッチ研磨部に、供給されたウエハを吸着保持する吸着部と、垂直状態で回転するノッチ研磨用パッドを有するとともに、前記吸着部に対して接離可能な研磨部とを具えたノッチ研磨装置を配設し、該ノッチ研磨装置は、前記吸着部が、揺動用駆動源によって前記ノッチ研磨用パッド側を中心として上下方向に揺動可能としたことを特徴とする端面研磨装置におけるノッチ研磨装置のウエハ揺動機構。

IPC (3件)：

B24B 9/00 601 ,  B24B 41/06 ,  H01L 21/304 621

FI (3件)：

B24B 9/00 601 H ,  B24B 41/06 L ,  H01L 21/304 621 E

Fターム (17件)：

3C034AA13 ,  3C034BB22 ,  3C034BB73 ,  3C034BB81 ,  3C034CB01 ,  3C049AA06 ,  3C049AA07 ,  3C049AA12 ,  3C049AA16 ,  3C049AA18 ,  3C049AB01 ,  3C049AB03 ,  3C049AB04 ,  3C049AC04 ,  3C049BB04 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03