特許

J-GLOBAL ID：200903095499072089

基板のクリーン搬送装置および当該装置に対する基板のローディング方法

発明者： 上杉 学 ,  佐々木 亨
出願人/特許権者： TDK株式会社
代理人 (11件)： 岡部 正夫 ,  加藤 伸晃 ,  産形 和央 ,  臼井 伸一 ,  藤野 育男 ,  越智 隆夫 ,  本宮 照久 ,  高梨 憲通 ,  朝日 伸光 ,  高橋 誠一郎 ,  吉澤 弘司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-228284
公開番号（公開出願番号）：特開2004-071784
出願日： 2002年08月06日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】より大型の基板についても対応可能なクリーンボックスを提供する。【解決手段】クリーンボックス1の構成を、基板15を収容する第1の空間6、第1の空間6を画定する隔壁5、隔壁5とクリーンボックス外壁との間であって、第1の空間6の回りを囲む第2の空間7からなるボックス本体3と、第1および第2の空間5,6各々の開口を共に閉鎖するドア部20とからなるものとする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被保持物を特定圧力に保たれた清浄雰囲気下で保持するクリーン搬送装置であって、 被保持物を収容する、特定方向に開口部を有する第1の空間と、 前記第1の空間とは独立して前記第1の空間の周囲に配置され、前記開口部の周囲に開口部を有する第2の空間とからなるボックス本体と、 前記第1の空間における開口部および前記第2の空間における開口部を共に閉鎖するドア部とからなるクリーン搬送装置。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (2件)：

H01L21/68 T ,  H01L21/68 A

Fターム (11件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031LA15 ,  5F031NA02 ,  5F031NA04 ,  5F031NA10 ,  5F031PA18

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特許第3167970号