特許
J-GLOBAL ID:200903095503929399
圧電共振子とその製造方法およびそれを用いた電子部品
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡田 全啓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-223028
公開番号(公開出願番号):特開平10-051261
出願日: 1996年08月05日
公開日(公表日): 1998年02月20日
要約:
【要約】【課題】 スプリアスが小さく、共振周波数と反共振周波数との差ΔFが大きく、ΔFや容量値などを調整することができ、特性の設計自由度の大きい圧電共振子とその製造方法、およびそれを用いた電子部品を得る。【解決手段】 圧電共振子10は、たとえば圧電体層と内部電極14とを積層した基体12を含む。基体12は、内部電極14の両側で異なる向きに分極する。基体12の一側面に溝15を形成し、その両側において、1つおきに内部電極14を絶縁膜16,18で被覆する。それぞれの絶縁膜16,18は、異なる内部電極14を被覆するように形成する。基体14の溝15の両側に外部電極20,22を形成し、内部電極14に接続する。外部電極20,22の長手方向の中央部に、導電材料で形成された支持部材24を形成する。
請求項(抜粋):
長手方向を有する基体、前記基体の少なくとも一部を構成する活性部、前記基体の長手方向と直交するように前記活性部内に配置され、その端部が前記基体の側面に露出する少なくとも1対の内部電極、前記基体の一側面の一端側において、この側面に露出した前記内部電極を1つおきに被覆する第1の絶縁膜、前記基体の前記一側面の他端側において、この側面に露出した前記内部電極のうち前記第1の絶縁膜で被覆されていない前記内部電極を被覆する第2の絶縁膜、および前記基体の前記一側面の一端側および他端側において長手方向に延びて形成され、この側面の各端部側において前記絶縁膜に被覆されずに露出した前記内部電極にそれぞれ接続される2つの外部電極を含み、前記活性部は圧電体で構成され、前記基体の長手方向に分極されるとともに、前記基体の長手方向に電界を加えて、前記基体に長さ振動モードの基本振動を励振させることを特徴とする、圧電共振子。
IPC (3件):
H03H 9/17
, H03H 3/02
, H03H 9/58
FI (3件):
H03H 9/17 A
, H03H 3/02 B
, H03H 9/58 A
引用特許:
審査官引用 (25件)
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特公平5-035607
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特公昭63-024324
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特開昭63-072211
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特開平4-111483
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特公昭62-061170
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特開昭62-108729
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特開昭60-053315
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積層型圧電アクチュエータ及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-314874
出願人:住友金属工業株式会社
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特開昭60-030208
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特開平2-224515
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特開昭56-069999
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特公平5-035607
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特公昭48-031368
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圧電部品
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-141690
出願人:松下電器産業株式会社
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特公昭62-061170
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特開平2-224515
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圧電共振子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-056629
出願人:株式会社村田製作所
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特開平3-280481
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特公昭63-024324
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特開昭63-072211
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特開平4-111483
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特開昭62-108729
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特開平2-224515
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特公平5-035607
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特公昭62-061170
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