測定ステージ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-128123
公開番号（公開出願番号）：特開平8-320389
出願日： 1995年05月26日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】簡単な構成で、測定対象物を高速で搬送することができ、しかも搬送してきた位置で測定対象物を上下方向に正確に位置決めすることができる測定ステージを提供する。【構成】基板保持部40の下方側にコロ部材50が連結されるとともに、コロ部材50の下方側に楔状部材60が配置される。この楔状部材60の上主面には、緩斜部61と急峻部62が形成されている。また、楔状部材60は、駆動機構70からの駆動力を受けて、コロ部材50が緩斜部61と係合した状態、あるいは急峻部62と係合した状態で水平方向Xに移動する。ここで、緩斜部61および急峻部62と係合する場合について見てみると、楔状部材60の水平方向Xの移動に対してコロ部材50の上下方向Zの移動量は、前者では小さく、また後者では大きくなる。

請求項（抜粋）：

測定対象物を保持しながら上下方向に移動自在な保持手段と、前記保持手段の下方側に連結された第1係合部材と、前記第1係合部材の下方側に配置され、前記第1係合部材と係合しながら、水平方向に前記第1係合部材に対して相対的に移動自在な第2係合部材と、前記第2係合部材に所定の駆動力を与えて、前記第1および第2係合部材を相対的に前記水平方向に移動させる駆動手段とを備え、前記第1および第2係合部材の一方が楔形状に仕上げられた楔状部材であり、当該楔状部材を構成する主面のうち他方の係合部材と係合する主面に前記水平方向に対して互いに傾きの異なる緩斜部と急峻部とが設けられたことを特徴とする測定ステージ。

IPC (4件)：

G12B 5/00 , B23Q 5/22 520 , H01L 21/66 , H01L 21/68

FI (4件)：

G12B 5/00 T , B23Q 5/22 520 C , H01L 21/66 P , H01L 21/68 K

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