特許

J-GLOBAL ID：200903095512133971

電子顕微鏡等の試料支持方法及び支持装置

発明者： 原口康史 ,  奥富昭次
出願人/特許権者： 日本電子株式会社 ,  日本電子ライオソニック株式会社 ,  日本電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-277178
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132000
出願日： 1992年10月15日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【目的】 支持膜を使用することなく、微小な試料を通過した電子線を乱さないで、真空空間中の最適試料位置に微小試料を支持する。【構成】 微小試料又は微小試料を表面に付着させた微小物体4を光ピンセット1の集束光束の焦点近傍に光トラップし、その状態で電子顕微鏡等の空間中の試料位置に固定する。そのため、電子線を乱して解像力を落とす支持膜が不要になり、また、電場、磁場等の影響を全く受けずに対物レンズの最も収差の小さい最適位置に試料を固定でき、高分解能で試料を観察することができる。

請求項（抜粋）：

電子線、イオン線等により微小試料を観察、分析する電子顕微鏡等の試料支持方法において、微小試料又は微小試料を表面に付着させた微小物体を集束光束の焦点近傍に光トラップし、その状態で電子顕微鏡等の空間中の試料位置に固定することを特徴とする電子顕微鏡等の試料支持方法。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/28 ,  H01J 37/26

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-152245