特許

J-GLOBAL ID：200903095521774378

走査光学系の光スポット特性の測定装置

発明者： 清水 研一
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-088155
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283723
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】 光スポットの異なる特性値の測定に際して、短時間かつ高精度に測定できる光スポット特性の測定装置を提供する。【解決手段】 レーザ光束を被走査面上に光スポットとして集光させ、上記被走査面上の所望の主走査位置における光スポット特性を測定する装置において、測定ポイントとなる主走査位置で光スポットの複数の異なる特性値を測定するために、その各受光面5′が上記被走査面と一致するように移動自在に、直動ステージ6上に複数種の光センサ5a〜5dを備えた構成である。

請求項（抜粋）：

レーザ光束を被走査面上に光スポットとして集光させ、上記被走査面上の所望の主走査位置における光スポット特性を測定する装置であって、測定ポイントとなる主走査位置で光スポットの複数の異なる特性値を測定するために、その各受光面が上記被走査面と一致するように、複数の光センサを移動自在に備えたことを特徴とする走査光学系の光スポット特性の測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01J 1/02 ,  G02B 26/10

FI (3件)：

G01B 11/00 Z ,  G01J 1/02 L ,  G02B 26/10

Fターム (34件)：

2F065BB21 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ15 ,  2F065JJ18 ,  2F065KK02 ,  2F065LL10 ,  2F065LL62 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065MM16 ,  2F065PP03 ,  2F065QQ41 ,  2G065AA11 ,  2G065AB09 ,  2G065BA04 ,  2G065BA09 ,  2G065BA13 ,  2G065BA32 ,  2G065BB07 ,  2G065BB23 ,  2G065BB48 ,  2G065BB49 ,  2G065BC13 ,  2G065BC19 ,  2G065BC35 ,  2G065DA17 ,  2H045CA82