特許

J-GLOBAL ID：200903095522704810

加工用電極

発明者： 森 勇藏
出願人/特許権者： 森 勇藏 ,  株式会社ユーハ味覚糖精密工学研究所
代理人 (1件)： 柳野 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-074465
公開番号（公開出願番号）：特開平5-234942
出願日： 1991年03月13日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：

【要約】【目的】 切断加工及び鏡面加工を行うに際しても、加工領域の全域へ常に一定量の反応ガスを供給でき、又は反応ガスに基づく一定密度の中性ラジカルを供給できる加工用電極である。【構成】 電極に直流電圧若しくは交流電圧を印加し、その電界によって反応ガスに基づく中性ラジカルを生成し、該中性ラジカルと被加工物を構成する原子又は分子とのラジカル反応によって生成した揮発性物質を気化させて除去し、加工を進行させてなる無歪精密加工装置の加工用電極の内部に、加工面側へ開口した反応ガスを含む雰囲気気体を供給するガス供給路を設けた。

請求項（抜粋）：

電極に直流電圧若しくは交流電圧を印加し、その電界によって反応ガスに基づく中性ラジカルを生成し、該中性ラジカルと被加工物の加工面を構成する原子又は分子とのラジカル反応によって生成した揮発性物質を気化させて除去し、加工を進行させてなる無歪精密加工装置の加工用電極において、内部に加工面側へ開口した反応ガスを含む雰囲気気体を供給するガス供給路を設けたことを特徴とする加工用電極。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-010700
  
• 特開平1-125829
  
• 特開昭63-124528