特許
J-GLOBAL ID：200903095533328039
表面欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-130551
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148098
出願日： 1993年06月01日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：
【要約】【目的】欠陥の識別、等級判定を従来よりも一層高速で高精度にできる表面欠陥検査装置を提供する。【構成】被検査材10の表面の異常部の大きさと位置を表す信号を異常検出部32で検出し、この異常部に対応する撮像信号のみを画像メモリ30から抽出し、画像伝送部34を介して画像処理部36に伝送する。
請求項（抜粋）：
被検査材の移動速度に同期して、該被検査材の移動方向に対して直交する方向に区分された該被検査材の表面の複数の領域の撮像信号を生成する撮像手段と、前記撮像信号のうち、前記被検査材の移動方向の所定長さ分の表面を表す撮像信号を記憶しておく画像データ記憶手段と、複数の前記領域毎に、複数の前記領域に対応する複数の前記撮像信号それぞれを前記被検査材の移動方向の所定長さ分加算して所定のしきい値と比較することにより、前記被検査材の表面に発生した異常部を検出する異常部検出手段と、該異常部検出手段で検出された異常部を表す信号に基づいて、前記画像データ記憶手段に記憶されている撮像信号のうち、前記異常部の画像を表す撮像信号のみを伝送する画像伝送手段と、該画像伝送手段から伝送された撮像信号に画像処理を施すことにより、被検査材の表面欠陥を検査する画像処理手段とを備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G01N 21/88
