特許

J-GLOBAL ID：200903095542172343

電子線又はX線用ネガ型レジスト組成物

発明者： 青合 利明
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-193140
公開番号（公開出願番号）：特開2002-006491
出願日： 2000年06月27日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】電子線又はX線を使用する半導体素子の微細加工における性能の向上及び技術課題を解決することであり、電子線又はX線の使用に対して感度、解像度、レジスト形状、現像欠陥、及び塗布性の特性を満足する電子線又はX線用ネガ型化学増幅系レジスト組成物を提供することである。【解決手段】 電子線又はX線の照射により、酸及び/又はラジカル種を発生する化合物、アルカリ可溶性樹脂、酸により架橋する架橋剤、及びフッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有する電子線又はX線用ネガ型化学増幅系レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(A)電子線又はX線の照射により、酸及び/又はラジカル種を発生する化合物、(B)酸及び/又はラジカルにより重合可能な不飽和結合を少なくとも1個有する水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、(C)酸の作用により(B)の樹脂と架橋を生じる架橋剤、及び、(D)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とする電子線又はX線用ネガ型レジスト組成物。

IPC (16件)：

G03F 7/038 601 ,  C08F 2/50 ,  C08F 12/34 ,  C08F 16/12 ,  C08F 16/36 ,  C08F 20/10 ,  C08F 20/54 ,  C08F 22/30 ,  C08F 28/02 ,  C08F290/00 ,  C08F290/12 ,  C08F299/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/027 511 ,  H01L 21/027

FI (16件)：

G03F 7/038 601 ,  C08F 2/50 ,  C08F 12/34 ,  C08F 16/12 ,  C08F 16/36 ,  C08F 20/10 ,  C08F 20/54 ,  C08F 22/30 ,  C08F 28/02 ,  C08F290/00 ,  C08F290/12 ,  C08F299/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/027 511 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (110件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC19 ,  2H025BC34 ,  2H025BC43 ,  2H025BC64 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025CC04 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J011QA03 ,  4J011QA08 ,  4J011QA12 ,  4J011QA22 ,  4J011QA24 ,  4J011QA26 ,  4J011QA33 ,  4J011QA34 ,  4J011QA46 ,  4J011QB01 ,  4J011QB03 ,  4J011QB11 ,  4J011QB16 ,  4J011SA78 ,  4J011SA83 ,  4J011SA87 ,  4J011TA08 ,  4J011TA10 ,  4J011UA03 ,  4J011UA04 ,  4J011WA01 ,  4J027AA02 ,  4J027AA08 ,  4J027AC03 ,  4J027AC06 ,  4J027AH03 ,  4J027AJ08 ,  4J027BA04 ,  4J027BA08 ,  4J027BA10 ,  4J027BA17 ,  4J027BA19 ,  4J027BA23 ,  4J027BA24 ,  4J027BA26 ,  4J027CA10 ,  4J027CA23 ,  4J027CA25 ,  4J027CA26 ,  4J027CA29 ,  4J027CA34 ,  4J027CB02 ,  4J027CB03 ,  4J027CB09 ,  4J027CB10 ,  4J027CC06 ,  4J027CC08 ,  4J027CD10 ,  4J100AB15P ,  4J100AE81P ,  4J100AE82P ,  4J100AF11P ,  4J100AL60P ,  4J100AL74P ,  4J100AM03P ,  4J100AM23P ,  4J100AP02P ,  4J100BA02P ,  4J100BA03P ,  4J100BA04P ,  4J100BA05P ,  4J100BA06P ,  4J100BA15P ,  4J100BA16P ,  4J100BA20P ,  4J100BA29P ,  4J100BA35P ,  4J100BA37P ,  4J100BA38P ,  4J100BA40P ,  4J100BA41P ,  4J100BA51P ,  4J100BA55P ,  4J100BB01P ,  4J100BB03P ,  4J100BB05P ,  4J100BB07P ,  4J100BC02P ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC07P ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100BC41P ,  4J100BC43P ,  4J100BC48P ,  4J100BC49P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100JA38