特許
J-GLOBAL ID：200903095542764577
圧電体装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-301509
公開番号（公開出願番号）：特開2001-127354
出願日： 1999年10月22日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：
【要約】【課題】 圧電体装置の振動部分の構成において、接着剤による振動部分の特性の劣化、バラツキを抑え、特性を向上させること、ならびに、製造工程を簡略化することを課題とする。【解決手段】 基板上に圧電体と同じ結晶構造に誘導できるアミノポリカルボン酸金属錯体とアミンとの塩またはアミノポリカルボン酸金属塩とアミンとの塩から生成した薄膜層を形成し、その薄膜層を介して基板と圧電体層を接合した構造を備えた振動部分の構成、ならびに製法とする。
請求項（抜粋）：
基板上に圧電体層が形成された圧電体装置において、前記基板と前記圧電体層との間に金属錯体から生成した薄膜層が設けられたことを特徴とする圧電体装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
