特許
J-GLOBAL ID：200903095542975047
エネルギービームによる蒸着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-295111
公開番号（公開出願番号）：特開平5-106028
出願日： 1991年10月14日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【目的】 基板1の幅方向に均一な膜厚を得る。蒸発源を基板1に近づけ、無効蒸気を少なくする。【構成】 基板1のるつぼ全幅にわたって蒸着材料4を配する。蒸着材料4に照射するエネルギービームBを基板1の幅方向に走査する。エネルギービームBの走査速度を、走査ライン両端に近づくほど遅くして蒸発量を多くする。
請求項（抜粋）：
蒸着材料の表面をエネルギービームで走査することにより、蒸着材料を蒸発させて基板表面に付着させる蒸着方法において、蒸着材料を走査するエネルギービームの走査速度を、走査方向の中央から両端に近づくにしたがって遅くすることを特徴とするエネルギービームによる蒸着方法。
IPC (2件)：
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