特許

J-GLOBAL ID：200903095543957549

ステージ及びステージ駆動方法

発明者： ダブリュ トーマス ノヴァック
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-156599
公開番号（公開出願番号）：特開平9-034135
出願日： 1996年06月18日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 精密器械に用いられる精密位置決め用の正確な2次元運動と偏揺れ調節とを備えた2個の案内ビームを有するステージの機構を提供する。【解決手段】 平坦な表面をもつ支持台30上に配置され、Y方向に延びた第1案内ガイド34と、X方向に延びた第2案内ガイド32とを有し、一端に第1流体軸受74a,74bを配置し、第1案内ガイド34に沿って移動する第1案内部材42と、一端に第1軸受よりも拘束の弱い第2流体軸受を配置し、第2案内ガイド32に沿って移動する第2案内部材40と、さらに第1案内部材に第3流体軸受を介して案内されると共に、第2案内部材に第3流体軸受よりも強い拘束をもつ第4流体軸受を介して案内されるテーブル50を備える。この構成で拘束を最小限に低減でき、また予圧を用いて可動構成要素を過剰に拘束せずに軸受を介して充分な拘束を与え、その結果最大誤差を低減し製造公差への要求も低減する。

請求項（抜粋）：

平坦な表面を有する支持台と、前記支持台上に配置され、第1方向に延びた第1の案内ガイドと、前記支持台上に配置され、前記第1方向と一定の角度をなした第2方向に延びた第2の案内ガイドと、一端に第1移動子と第1流体軸受けとを配置し、前記第1案内ガイドに沿って移動する第1の案内部材と、一端に第2移動子と前記第1軸受けよりも弱い拘束を有する第2流体軸受けとを配置し、前記第2案内ガイドに沿って移動する第2の案内部材と、前記第1案内部材に第3流体軸受けを介して案内されるとともに、前記第2案内部材に前記第3軸受けよりも強い拘束を有する第4流体軸受けを介して案内されるテーブルとを含み、前記第2移動子に偏調整用の力を与えることで偏調整が可能なステ-ジ。

IPC (5件)：

G03F 9/00 ,  B23Q 1/25 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

G03F 9/00 H ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 516 B ,  B23Q 1/14 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-209835
  
• 特開昭61-209835
  
• 特開昭61-230836