表面欠陥検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川雅男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-182541
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033446
出願日： 1995年07月19日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【目的】表面欠陥検査装置に関し、表面欠陥検出精度を高めることを目的とする。【構成】対象物1の表面に光を照射するための投光装置2と、対象物の表面で正反射された光の量を検出する第1の受光装置3と、内面がミラー構造で、対象物1の表面で乱反射された光の散逸を防止する遮光装置4と、対象物1の表面で乱反射された光の量を検出する第2の受光装置5と、前記第1、第2の受光装置3、5に入射した光量の比率から対象物の表面欠陥の良否を判定する表面欠陥判定装置6とを有して構成する。

請求項（抜粋）：

対象物の表面に光を照射するための投光装置と、対象物の表面で正反射された光の量を検出する第1の受光装置と、内面がミラー構造で、対象物の表面で乱反射された光の散逸を防止する遮光装置と、対象物の表面で乱反射された光の量を検出する第2の受光装置と、前記第1、第2の受光装置に入射した光量の比率から対象物の表面欠陥の良否を判定する表面欠陥判定装置とを有する表面欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01N 21/88 G , G01N 21/88 E , G01B 11/30 Z , H01L 21/66 J

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭62-135751
特開昭62-135751
ウエハ異物検査方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-185288 出願人：三菱電機株式会社

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