特許

J-GLOBAL ID：200903095549206243

2次元情報測定装置

発明者： 中楯 末三
出願人/特許権者： 中楯 末三
代理人 (1件)： 安形 雄三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-143851
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087541
出願日： 1991年05月20日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、バイアス位相が120°ずつ異なる3種の画像データを得て、被測定物体からの2次元的な物理量の情報を高精度、実時間で測定する装置を提供することにある。【構成】 縞画像を出力する光学系から出力された光に対して、周波数同期したテレビカメラで撮像し、バイアス位相が120度ずれた信号を得る。そのビデオ信号を用いてディジタル演算、処理を行ない、測定縞画像の位相分布や位相差分布を実時間で測定する。

請求項（抜粋）：

2次元的な物理量の変化に応じて、バイアス位相が120°ずつ異なる3つの正弦波状信号の2次元光強度を出力する物理量測定光学系と、前記物理量測定光学系からの前記正弦波状信号のバイアス位相が0°である光強度を2次元的に検出する第1の光検出手段と、前記バイアス位相と位相が120°異なる前記物理量測定光学系からの光強度を2次元的に検出する第2の光検出手段と、前記第1の光検出手段により検出された光のバイアス位相と位相が240°異なる前記物理量測定光学系からの光強度を2次元的に検出する第3の光検出手段とを備え、前記第1、第2及び第3の光検出手段に基づいて前記物理量に関する2次元的情報を測定するようにしたことを特徴とする2次元情報測定装置。