特許
J-GLOBAL ID:200903095565270024

低コストな界面動電ポンプを製造するための方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 小池 晃 ,  田村 榮一 ,  伊賀 誠司
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-503232
公開番号(公開出願番号):特表2006-516831
出願日: 2004年01月29日
公開日(公表日): 2006年07月06日
要約:
循環冷却装置内で用いられる電気浸透流ポンプを提供する。電気浸透流ポンプは、流体チャンバと、ポンピング素子と、インレット電極と、アウトレット電極と、インレット電極及びアウトレット電極に接続され、インレット電極とアウトレット電極間に電圧を印加し、インレット電極とアウトレット電極間に電界を発生させる電圧印加手段とを備える。ポンピング素子は、流体をポンピングするよう構成され、流体インレットポートを含むインレットチャンバと、流体アウトレットポートを含むアウトレットチャンバとに流体チャンバを分割するように配置される。インレットチャンバのサイズは、インレットチャンバの所定の滞留時間に比例する。インレット電極は、インレットチャンバ内に、ポンピング素子の第1の表面から所定の距離離間して配設される。アウトレット電極は、アウトレットチャンバ内に、ポンピング素子の第2の表面から所定の距離離間して配設される。
請求項(抜粋):
a.流体チャンバと、 b.上記流体チャンバを、流体インレットポートを含むインレットチャンバと、流体アウトレットポートを含むアウトレットチャンバとに分割するように配設され、流体をポンピングするポンピング素子と、 c.上記ポンピング素子の第1の表面から所定の距離離間して、上記インレットチャンバ内に配設されたインレット電極と、 d.上記アウトレットチャンバ内に配設されたアウトレット電極と、 e.上記インレット電極及びアウトレット電極に接続され、該インレット電極と該アウトレット電極間に電圧を印加し、該インレット電極と該アウトレット電極間に電界を発生させる電圧印加手段とを備える電気浸透流ポンプ。
IPC (1件):
H01L 23/473
FI (1件):
H01L23/46 Z
Fターム (1件):
5F136CB13

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