特許
J-GLOBAL ID：200903095565491446
半田ボールの搭載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-292938
公開番号（公開出願番号）：特開平8-153961
出願日： 1994年11月28日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】 基板やチップなどのワークにバンプとなる半田ボールを搭載するにあたり、半田ボールをヘッドのすべての吸着孔に確実に真空吸着してピックアップできる半田ボールの搭載装置を提供することを目的とする。【構成】 半田ボール1の貯溜部12の容器14の内部に、伸縮性を有する通風シート15と、その下方に配設された整流用シート16,17を設け、通風シート15上に半田ボール1を貯溜する。容器14の下部空間18に吐出部13からガスを吹き出すと、ガスは整流用シート16,17に整流され、通風シート15を通って半田ボール1の層中を風量のばらつきなく均一に吹き上がり、半田ボール1を流動化させる。そこでヘッド30は下降して半田ボール1を吸着孔35に真空吸着してピックアップし、基板に移送搭載する。
請求項（抜粋）：
半田ボールを貯溜する貯溜部と、ワークの位置決め部と、半田ボールを真空吸着する吸着孔が下面に複数個形成されたヘッドと、このヘッドを前記貯溜部と前記位置決め部の間を往復移動させる移動手段とを備えた半田ボールの搭載装置であって、前記貯溜部が、容器と、この容器の上部に配設されて半田ボールが載置される通風シートと、この通風シートの下方に配設された整流手段と、この整流手段の下部空間にガスを送り込むガス供給手段とを備えたことを特徴とする半田ボールの搭載装置。
IPC (3件)：
H05K 3/34 505
, B23K 3/06
, H01L 21/321
