特許

J-GLOBAL ID：200903095573384683

ベーキング装置

発明者： 本郷 俊明 ,  白川 英一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン九州株式会社
代理人 (1件)： 萩原 康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-080719
公開番号（公開出願番号）：特開平9-007914
出願日： 1987年12月23日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】 稼働効率及び生産性を向上することのできるベーキング装置を提供する。【構成】 熱板1に載置した被処理体1を加熱する加熱手段3と、冷却する冷却手段6と、それら加熱手段3および/または冷却手段6を制御する制御手段14を備えたベーキング装置において、上記制御手段14が、上記熱板1に被処理体1を載置する前に、熱板1の温度をベーキング温度よりも所定の温度高くさせる制御を行うことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

熱板に載置した被処理体を加熱する加熱手段と、冷却する冷却手段と、それら加熱手段および/または冷却手段を制御する制御手段を備えたベーキング装置において、上記制御手段が、上記熱板に被処理体を載置する前に、熱板の温度をベーキング温度よりも所定の温度高くさせる制御を行うことを特徴とする、ベーキング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/38 501

FI (2件)：

H01L 21/30 567 ,  G03F 7/38 501

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-023321
  
• 特開平1-168025
  
• 特開平1-168025