特許

J-GLOBAL ID：200903095573638510

エアロマイクロマシニングの方法とその装置、並びにこの方法を用いて加工したマイクロスライダ

発明者： 黒田 正幸
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-227182
公開番号（公開出願番号）：特開平6-071566
出願日： 1992年08月26日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【目的】軸方向に加振する複数の噴射ノズルから固気2相流体を衝突噴流させマイクロマシンを表面加工することを目的とする。【構成】希薄微粒子と気体の固気2相流体4a及び4bを噴射する複数の噴射ノズル2a及び2bと複数の噴射ノズル2a及び2bを軸方向に加振する加振装置3と固気2相流体4a及び4bを複数の噴射ノズル2a及び2bに供給する固気2相流体供給管5a及び5bから主に構成され、複数の噴射ノズル2a及び2bを軸方向に加振させることにより固気2相流体4a及び4bを噴射ノズル2a及び2bから衝突噴流35a及び35bさせ被加工物34を表面加工するようにしたものである。

請求項（抜粋）：

微粒子と気体の固気2相流体を高速噴射する複数の噴射ノズルを軸方向に加振させる装置を備え、前記複数の噴射ノズルの少なくとも一方を所要の周波数で軸方向に加振させることにより、前記固気2相流体を高速噴射させ、その衝突噴流によって被加工物を表面加工することを特徴とするエアロマイクロマシニングの方法。