特許
J-GLOBAL ID：200903095577315899
ITO焼結体の製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-239415
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094046
出願日： 1993年09月27日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】【構成】 インジウム、スズおよび酸素からなる成形体の表面を、酸化インジウム粉末、酸化インジウム粉末と酸化スズ粉末とからなる混合粉末もしくはITO粉末または窒化ホウ素粉末で被覆した後、焼結してITO焼結を製造する。【効果】 焼結過程における酸化スズの蒸発が効果的に抑制されるため、均一な組成で高密度な焼結体を得ることができ、更に従来のターゲット製造工程において必要とされていた焼結体表面の低酸化スズ層の除去工程を行うことなくITOターゲットを安価に生産性良く得ることが可能となる。
請求項（抜粋）：
インジウム、スズおよび酸素からなる成形体を焼結してITO焼結体を製造する際、成形体の表面を酸化インジウム粉末、酸化インジウム粉末と酸化スズ粉末とからなる混合粉末又はITO粉末で被覆して焼結することを特徴とするITO焼結体の製造方法。
IPC (3件)：
H01B 13/00 503
, C04B 35/495
, C23C 14/34
