特許
J-GLOBAL ID：200903095577564740
光電子分光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-310603
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159354
出願日： 1993年12月10日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】試料表面における微小部分の分析が可能となる光電子分光装置を提供する。【構成】一端が先鋭化され、当該端面に、試料表面から放出される光電子を受け入れる微小な細孔を形成する高鉛ガラス製の電子増幅器9と、その先端部9aと後端部9bとに、それぞれ設けられた電極10および電極11と、両電極間に2次電子増倍のための電圧を加える電圧源14aとを有する電子エネルギー分析プローブを用いて、光電子を検出すると共に、検出される光電子の出現ポテンシャルを分析する。
請求項（抜粋）：
照射された励起光により、試料表面から放出される光電子のエネルギーを分析する電子エネルギー分析装置を備えた光電子分光装置において、電子エネルギー分析装置は、放出された光電子が入射する細孔を設け、当該細孔から受け入れた電子数を示す信号を出力する電子プローブと、電子プローブに入射可能な光電子のエネルギーを制限すると共に、当該エネルギーの制限値を示す信号を出力するエネルギー制限装置と、当該エネルギー制限値を示す信号と当該電子数を示す信号とを入力として、試料表面における電子状態を算出する処理装置とを有し、電子プローブは、当該細孔の開口面積により、入射可能な光電子の、試料表面における放出領域を空間的に限定することを特徴とする光電子分光装置。
IPC (4件)：
G01N 23/227
, H01J 37/244
, H01J 49/44
, H01J 43/24
