特許
J-GLOBAL ID：200903095579354093
ハードディスク又はウエハーの検査方法及び検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-183214
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003279
出願日： 1992年06月17日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【構成】点光源光及び平行光をハードディスク又はウエハーに当てて反射させ、それぞれの反射光又は散乱光を別々にCCDセンサーカメラで写し撮り、その光の階調差を検知することによるハードディスク又はウエハーの検査方法及び検査装置。【効果】ハードディスク又はウエハーのスクラッチ、ピンホール、しみ、へこみ、小突起などの非常に浅い凹凸の欠陥部を効率的に検査することができる。
請求項（抜粋）：
点光源光及び平行光をハードディスク又はウエハーに当てて反射させ、それぞれの反射光又は散乱光を別々にCCDセンサーカメラで写し撮り、その光の階調差を検知することを特徴とするハードディスク又はウエハーの検査方法。
IPC (2件)：
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