特許
J-GLOBAL ID：200903095579557776
ウエハー支持具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 栄男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-263914
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102056
出願日： 1991年10月11日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 ウェハーに対する加工精度の低下を回避することができるウェハー支持具の提供を目的とする。【構成】 加工対象となるウェハー30は、支持盤6上に置かれた状態で加熱炉内に収められる。従って、ウェハー30に、その自重によるそりが生じることはない。又、ウェハー30の背面に付着したパーティクル(塵埃)が、下方のウェハー30の加工表面上に落下することもない。更に、支柱4から周囲幅L2離れた状態で位置するので、支柱4近傍のガス気流の乱れの影響によって加工精度が低下することがない。尚、支持盤6にスリット7が形成されている為、ウェハー30の搬送を容易に行うことができる。
請求項（抜粋）：
ウェハーを置く為の複数の支持盤、前記複数の支持盤の間に挿入空間が形成されるように各支持盤を保持する保持部材、を備えたことを特徴とするウェハー支持具。
IPC (2件)：
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