特許
J-GLOBAL ID：200903095582046227
オゾン発生装置の制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀田 実 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-295277
公開番号（公開出願番号）：特開平9-142808
出願日： 1995年11月14日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：
【要約】【課題】 パージ時間を大幅に短縮、或いはなくすことができ、酸素の消費量を低減でき、かつオゾンガスの濃度と流量の両方を制御して、脱着工程において所定の濃度と流量のオゾンガスを安定して供給できるオゾン発生装置の制御方法を提供する。【解決手段】 酸素からオゾンを発生させるオゾン発生器10と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器12と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して脱着したオゾンをキャリアガスと共に排出するオゾン排出ライン14と、を備え、キャリアガスとしてオゾンの排出に必要な少量の酸素を用い、オゾンをオゾン吸着器で脱着させ、脱着したオゾンをキャリアガスと共にオゾンタンク20に貯蔵し、オゾンタンクに希釈ガスを供給して所望のオゾン濃度に制御する。また、所望のオゾン濃度と流量から必要とするオゾン量を算出し、該オゾン量を脱着するようにオゾン吸着器の温度と圧力を制御する。
請求項（抜粋）：
酸素からオゾンを発生させるオゾン発生器と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して脱着したオゾンをキャリアガスと共に排出するオゾン排出ラインと、を備えたオゾン発生装置の制御方法において、キャリアガスとしてオゾンの排出に必要な少量の酸素を用い、オゾンをオゾン吸着器で脱着させ、脱着したオゾンをキャリアガスと共にオゾンタンクに貯蔵し、オゾンタンクに希釈ガスを供給して所望のオゾン濃度に制御する、ことを特徴とするオゾン発生装置の制御方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 13/10 A
, B01D 53/04 G
