特許
J-GLOBAL ID：200903095583234400
コーティングを基板上に堆積する堆積方法および堆積装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
一色 健輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-305887
公開番号（公開出願番号）：特開平10-330934
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：
【要約】【課題】 比較的に高速で作動することができる自動堆積システムを提供すること。【解決手段】 コーティングは少なくとも2つの材料のタイプの複数層から成る。層は、反応性堆積、好ましくは、スパッタリングによって堆積室内で順に堆積される。堆積層の厚さは、堆積層の光学的な測定によって層の堆積の間に1回またはそれ以上の回数決定され、堆積層から引き出された理論的値を前記測定から得られた対応する実際の値に適合する。処理変数は、前記理論的なモデルから有効な厚さが決定されるように堆積層の均質性を保証するように連続的に制御される。
請求項（抜粋）：
堆積室で層の少なくとも一部を高速の反応性堆積で順に堆積し、前記堆積層の光学的な測定を行うことによって層の堆積中に1回またはそれ以上の回数で堆積層の厚さを決定し、堆積層のモデルから得られた理論的な値を前記測定から得られた対応する実際の値に適合させ、堆積層の均質性を保証するために処理変数を制御して前記理論的モデルから有効な厚さの決定を行う少なくとも2つの材料のタイプの複数層から成る複合的なコーティングを基板上に堆積する堆積方法。
IPC (4件)：
C23C 14/34
, B32B 9/00
, C30B 25/06
, G02B 1/10
C23C 14/34 U
, B32B 9/00 A
, C30B 25/06
, G02B 1/10 Z
