特許

J-GLOBAL ID：200903095585518650

照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置

発明者： 谷津 修
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-261343
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085315
出願日： 1999年09月16日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】 照明条件の切り換えに応じて、被照射面における照度の均一性と開口数の均一性とを同時に満たすように調整することのできる照明光学装置。【解決手段】 照明光を供給する光源手段(1)と、光源手段からの光束に基づいて多数の光源を形成する多光源形成手段(3)と、多数の光源からの光束を被照射面(9)へ導く光学系(6,8)とを備えている。多光源形成手段と被照射面との間の照明光路中には、光線の入射角に応じて透過率が変化する角度特性を有する複数の照度分布補正手段(500)が設けられている。制御手段(21)は、複数の照度分布補正手段から所望の照度分布補正手段(5)を選択して照明光路中に位置決めする。

請求項（抜粋）：

照明光を供給するための光源手段と、該光源手段からの光束に基づいて多数の光源を形成するための多光源形成手段と、前記多数の光源からの光束を被照射面へ導くための光学系とを備えた照明光学装置において、前記多光源形成手段と前記被照射面との間の照明光路中であって前記被照射面上において一点に集光する光線群が実質的に平行になる位置に選択的に配置されて、光線の入射角に応じて透過率が変化する角度特性を有する複数の照度分布補正手段と、前記被照射面上における照度をほぼ均一に補正するために、前記複数の照度分布補正手段から所望の照度分布補正手段を選択して前記照明光路中に位置決めするための制御手段とを備えていることを特徴とする照明光学装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521

Fターム (11件)：

5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CB05 ,  5F046CB08 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01 ,  5F046DC12 ,  5F046DD04