スロー排気バルブ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富澤孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-187399
公開番号（公開出願番号）：特開2001-012649
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】排気量の調節に制約を受けないスロー排気バルブを提供すること、また同芯精度の高いスロー排気バルブを安価に提供すること。【解決手段】本発明のスロー排気バルブ1は、ポンプポート11とチャンバポート12とを備えたバルブボディ10内に、弁座13及び常時弁座13側へ付勢された弁体21とを備え、弁体21に対して下端部が固定された主軸25と、主軸25の上下に位置し、その主軸25に固定された下方の主ピストン35、及び主軸25が摺動可能に嵌挿して上端からの抜けが防止された上方の副ピストン36と、主ピストン35及び副ピストン36が摺動する上下一対のピストン室33,34を、上下を仕切る中間壁30aを備えた一つの筒状体から形成してなるシリンダチューブ30とを有する。

請求項（抜粋）：

ポンプポートとチャンバポートとを備えたバルブボディ内に形成された弁座と、前記弁座側に常時付勢され、弁座に当接・離間すべくバルブボディ内に設けられた弁体と、前記弁体に対して下端部が固定された主軸と、前記主軸の上下に位置し、その主軸に固定された下方の主ピストン、及び主軸が摺動可能に嵌挿して上端からの抜けが防止された上方の副ピストンと、前記主ピストン及び副ピストンが摺動する上下一対のピストン室を、上下を仕切る中間壁を備えた一つの筒状体から形成してなるシリンダチューブとを有し、前記各ピストン室に供給する動作流体によって前記主ピストン及び副ピストンを上方へ加圧して動作させ、主軸を介して前記弁座に対する前記弁体の高さ調整を行うことを特徴とするスロー排気バルブ。

IPC (2件)：

F16K 51/02 , F16K 31/122

FI (2件)：

F16K 51/02 A , F16K 31/122

Fターム (11件)：

3H056AA03 , 3H056BB02 , 3H056BB05 , 3H056BB50 , 3H056CA03 , 3H056CB02 , 3H056CD03 , 3H056GG02 , 3H056GG14 , 3H066AA01 , 3H066BA38

引用特許：

審査官引用 (7件)

真空圧制御用スロー排気バルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-319501 出願人：エスエムシー株式会社
流体圧作動弁装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-316355 出願人：株式会社コガネイ
特開平4-050580

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