特許

J-GLOBAL ID：200903095591598232

流体分配装置用モニタ

発明者： バックラー,ジェフリィ エム. ,  ロパロ,トーマス エー. ,  ワリュウ,ジョセフ,シー.
出願人/特許権者： ノードソン コーポレーション
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外11名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-525164
公開番号（公開出願番号）：特表平9-511313
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】流体分配モニタは、分配器を通る流体の流動特性、例えば、流体ノズル圧を検知するためのセンサを使用する。本モニタは、そのセンサが生成した入力信号を定期的にサンプリングして、サンプル値と、予め記憶された警報限界値とを比較する。そのサンプル値と、予め記憶された警報限界値との所定の関係に応じて、警告エラー符号が生成される。本モニタは、さらに、分配ガンがオンまたはオフされる遷移期間に、その流体の流動特性をサンプリングする。本モニタは、所定の限界を越えた遷移時間や圧力に応じて、エラー符号を生成する。また、エラー符号は、定常流体圧の変動に応じて、生成される。さらに、本モニタは、自動較正および自動診断プロセスも実施する。本モニタシステムは、複数のセンサ(50、210、212)、複数のモニタ制御部(14、214、216)および1台のオペレータ制御部(220)を備えている。

請求項（抜粋）：

流体分配器を経由する流体の流動特性を表す値を有する入力信号を作成するセンサを含む前記流体分配器を通過する流体の流れを制御する流体分配装置における流体の流動状態をモニターする方法において、 流体の前記流動特性の警報限界値と流体の前記流動特性の警告限界値を蓄積し、前記警告限界値は、前記警報限界値と流体の前記流動特性の許容値との間の大きさを有していて、 サンプリング期間中、前記入力信号を定期的にサンプリングして、流体の前記流動特性値のサンプル値を検出し、 各サンプル値を前記警報および警告限界値と比較し、 前記サンプル値と前記警報および警告限界値との所定の関係に応じて、警告エラー符号を作成することを特徴とする流体分配装置における流体の流動状態をモニターする方法。

IPC (5件)：

F17D 1/20 ,  B05B 12/08 ,  F16L 55/00 ,  G05B 23/02 ,  B67D 5/02

FI (5件)：

F17D 1/20 ,  B05B 12/08 ,  G05B 23/02 V ,  B67D 5/02 Z ,  F16L 55/00 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-278373
  
• 特開昭59-205619
  
• 特開平3-114565
  
• 特開平3-295419