特許
J-GLOBAL ID:200903095593110377

表面拡大検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大島 陽一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-021876
公開番号(公開出願番号):特開2005-214802
出願日: 2004年01月29日
公開日(公表日): 2005年08月11日
要約:
【課題】平坦面に無秩序状態に付いている傷を確実に観察する。【解決手段】被検査物12の検査位置12aに対して照明体9の照射光軸Ci及びカメラユニット4の撮像光軸Cpをそれぞれ斜めかつ検査位置を通る対称軸Csに対称になるようにし、カメラユニットを対称軸上に位置するように固定ケース6に設け、照明体を回動ケース7に固設し、撮像光軸Cpを屈折させる両ミラー11a・11bを回動ケースに設ける。両光軸をその関係を維持したまま検査位置を通る対称軸回りに回動させることができるため、検査位置に傷があった場合にはその傷の長手方向に対して直交する向きに照明光を当てることができると共にその反射光を撮影することによりその傷を明確に撮影することができる。表面に付く無秩序な傷の全てを撮影することができ、またそれをモニタ上で拡大して観察することができるため、傷の検査を容易かつ確実に行うことができる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
被検査物の平坦な表面の傷を検査するべく、前記表面の任意の検査位置を照射する照明体と、前記検査位置を撮影するカメラと、前記カメラによる撮像を拡大して映し出すモニタとを有する表面拡大検査装置であって、 前記照明体の照射光軸と前記カメラの撮像光軸とが前記検査位置に対して斜めに向きかつ対称的に位置するようにされていると共に、 前記照明体と前記カメラとが、前記対称関係を維持しつつ前記検査位置を通る対象軸回りに回動自在に設けられていることを特徴とする表面拡大検査装置。
IPC (3件):
G01N21/88 ,  G03B15/00 ,  G03B17/56
FI (3件):
G01N21/88 Z ,  G03B15/00 T ,  G03B17/56 E
Fターム (9件):
2G051AA51 ,  2G051AA84 ,  2G051AB07 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2H105CC24 ,  2H105CC29
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 平面の傷検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-254181   出願人:ダイハツ工業株式会社

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