特許
J-GLOBAL ID：200903095601336894
除去されやすいポリイミド樹脂膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-292683
公開番号（公開出願番号）：特開平8-150687
出願日： 1994年11月28日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】 伝統的なエッチング方法や機械的方法で簡単に、かつ、高い効率で経済的に除去できる、ポリイミド膜の製造方法を提供する。【構成】 本発明による除去されやすいポリイミド膜の製造方法は、以下の工程を含む。(1) ポリアミド酸樹脂の第1層を基質に被覆する工程。(2) ポリアミド酸樹脂の第1層の上に、Cu、Cr、NiおよびFeよりなる群から選ばれた金属の塩が混入されたポリアミド酸樹脂の第2層を被覆する工程。(3) 第1層と第2層を加熱することにより、ポリアミド酸を環化させてポリイミド膜を形成させる工程。
請求項（抜粋）：
(1) ポリアミド酸樹脂の第1層を基質に被覆するステップと、(2) 前記ポリアミド酸樹脂の第1層の上に、Cu、Cr、NiおよびFeよりなる群から選ばれた金属の塩が混入されたポリアミド酸樹脂の第2層を被覆するステップと、(3) 前記第1層と前記第2層とを加熱することにより、ポリアミド酸を環化させてポリイミド膜を形成させるステップとを含む除去されやすいポリイミド膜の製造方法。
IPC (2件)：
B32B 27/34
, H05K 1/03 610
