特許
J-GLOBAL ID：200903095604246209
測定値の校正方法、校正装置および光学的加工部品
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-056163
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300522
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、安価にかつ正確に機械の測定値を校正することのできる校正方法および校正装置を提供することを目的とする。【構成】 機械の測定値を校正する方法であって、機械は移動可能な複数の部分を備え、一つの部分に測定プローブを取り付け、測定軸に沿って動く一つの部分に測定用の加工部品を取り付け、プローブから独立した測定装置により軸上の第1の点で加工部品の位置を測定し、測定プローブを第1の点に移動し、加工部品を測定軸上の第2の点に移動し測定機械により加工部品の位置の第1の測定を行い、機械の部分を相対的に動かして第2の位置で測定プローブを用いて加工部品の位置の第2の測定を行い、測定装置および測定プローブのそれぞれにより測定した、加工部品の第1および第2の点の間の距離の違いを得る。
請求項（抜粋）：
機械の測定値を校正する測定値校正方法であって、当該機械は相対的に移動可能な複数の部分を備え、当該部分の一つには測定プローブが取り付けられており、測定軸に沿って機械の前記部分に対して相対的に動く機械の前記部分の一つに測定用の加工部品を取り付けるステップと、前記機械のプローブから独立した測定装置により、前記軸上の第1の点で前記加工部品の位置の第1の測定を行うステップと、前記機械の部分を相対的に動かして前記測定プローブを前記第1の点に移動するステップと、前記加工部品を前記測定軸上の第2の点に移動するステップと、前記第2の位置で前記測定機械により前記加工部品の位置の第1の測定を行うステップと、前記機械の部分を相対的に動かして、前記第2の位置で前記測定プローブを用いて前記加工部品の位置の第2の測定を行うステップと、測定装置および測定プローブのそれぞれにより測定された、前記加工部品の前記第1および前記第2の点の間の距離を決定して、測定した距離の2つの値の間の違いの指標を提供するステップとを備えたことを特徴とする測定値校正方法。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G01B 9/02
, G01B 11/02
