感光性ポリイミド前駆体組成物及びそれを用いたパターンの製造法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-184423
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019727
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】優れた感光特性を有し、低露光量でも形状に優れる良好なパターンが得られると共に、さらに塩基性水溶液に対する現像時間の短縮が実現できる感光性ポリイミド前駆体組成物及びそれを用いた優れた耐熱性、耐薬品性等を示すポリイミド膜パターンの製造法を提供する。【解決手段】光重合可能な炭素-炭素二重結合を有するポリイミド前駆体並びに光開始剤系として一般式(I)(式中、R1は、炭素原子数1〜20の有機基を示す)で表わされるオキシムエステル化合物及び一般式(II)(式中、X,Y Zは、水素原子、アルキル基、ハロゲン原子などであり、p,q rは、1〜5の整数である)で表わされるヘキサアリールビイミダゾール化合物を含有してなる感光性ポリイミド前駆体組成物及びそれを用いたポリイミド膜パターンの製造法。

請求項（抜粋）：

(A)光重合可能な炭素-炭素二重結合を有するポリイミド前駆体並びに(B)光開始剤系として(b1)一般式(I)【化1】(式中、R1は、炭素原子数1〜20の有機基を示す)で表わされるオキシムエステル化合物及び(b2)一般式(II)【化2】(式中、X,Y及びZは、各々独立に、水素原子、アルキル基、ハロゲン原子、トリハロメチル基、ニトロ基、アルコキシ基又はCOR2若しくはCOOR3(R2及びR3は各々独立にアルキル基である)で示される基であり、p,q及びrは、各々独立に、1〜5の整数である)で表わされるヘキサアリールビイミダゾール化合物を含有してなる感光性ポリイミド前駆体組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/027 514 , G03F 7/028 , G03F 7/32 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/027 514 , G03F 7/028 , G03F 7/32 , H01L 21/30 502 R

Fターム (22件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC31 , 2H025BC51 , 2H025BC69 , 2H025BC84 , 2H025CA07 , 2H025CA27 , 2H025CA28 , 2H025FA17 , 2H096AA25 , 2H096AA27 , 2H096BA06 , 2H096EA02 , 2H096GA08

前のページに戻る