走査電子顕微鏡

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016492
公開番号（公開出願番号）：特開2001-283759
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：

【要約】【課題】本発明は、一次電子ビームの走査中心が中心軸から外れるに従って、軸外収差の増大によって分解能が低下することを防止するためのものである。【解決手段】そのために本発明では上下二段のイメージシフト偏向器のうち下段のイメージシフト偏向器を多極子の静電偏向電極より構成し、かつ実効的な対物レンズの内部に配置した。【効果】これによりイメージシフトによる移動量が大きい場合にも分解能および寸法測定精度が高い。従って、大面積ウェハかつ超微細化された半導体素子のプロセスにおいて、高精度かつ高スループットの検査が可能となる。

請求項（抜粋）：

電子源と、当該電子源から放出される一次電子ビームの試料に対する照射位置を移動する二段の偏向器から構成されるイメージシフト偏向器と、前記一次電子ビームを収束する対物レンズを有する走査電子顕微鏡において、前記対物レンズは前記試料に向かってレンズギャップが開放され、且つ前記二段の偏向器の内、前記試料側に配置される偏向器は前記対物レンズの実効的なレンズ主面で偏向を行うように形成されていることを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (5件)：

H01J 37/147 , G01N 23/225 , H01J 37/244 , H01J 37/28 , H01L 21/66

FI (5件)：

H01J 37/147 B , G01N 23/225 , H01J 37/244 , H01J 37/28 B , H01L 21/66 J

引用特許：

出願人引用 (3件)

電子線レンズ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-233055 出願人：株式会社アドバンテスト
特開昭62-219446
特開昭58-147948

審査官引用 (3件)

電子線レンズ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-233055 出願人：株式会社アドバンテスト
特開昭62-219446
特開昭58-147948

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