特許
J-GLOBAL ID：200903095610080517
マイクロマシンセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-275857
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118826
出願日： 1997年10月08日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 基板上配線と検出エレメントとの容量結合によるS/N劣化を防止。配線と薄膜可動体との間の静電引力による検出精度低下を防止。【解決手段】 基板(1,2)に対して空隙を設けてほぼ平行に配置された薄膜可動体(14,15,17,18),その変位を検出するエレメント(20)および配線(3,5)を有するマイクロマシンセンサにおいて、配線(3,5)を絶縁距離を置いて被覆する導電性膜(8)、を有する。薄膜可動体と導電性膜をGND接続。薄膜可動体を振動駆動するためのエレメント(20),薄膜可動体の変位を検出するためのエレメント(4)、および、それらのエレメント(20,4)に接続した、基板上の配線(3,5)、を有し、かつ、配線(3,5)の実質上全長の上に位置する導電性膜(8)を有する角速度センサ。
請求項（抜粋）：
基板,該基板に対して空隙を設けてほぼ平行に配置された薄膜可動体,前記基板で支持され前記薄膜可動体の変位を検出するためのエレメントおよび基板上の電気配線を有するマイクロマシンセンサにおいて、前記電気配線を絶縁距離を置いて被覆する導電性膜、を有することを特徴とするマイクロマシンセンサ。
IPC (5件)：
G01P 15/125
, G01B 21/00
, G01L 1/14
, H01L 29/84
, H02N 13/00
G01P 15/125
, G01B 21/00 Z
, G01L 1/14 A
, H01L 29/84 Z
, H02N 13/00
