特許

J-GLOBAL ID：200903095611205232

X線分析装置および全反射蛍光X線分析装置

発明者： 新井 智也 ,  庄司 孝
出願人/特許権者： 理学電機工業株式会社
代理人 (1件)： 杉本 修司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-280964
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109671
出願日： 1992年09月24日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】【目的】 X線分析において、長波長X線を除去して、分析精度を高める。【構成】 X線源Pと人工格子1との間にX線用ハーフミラー20を挿入する。X線用ハーフミラー20は、X線B1のうちの長波長成分B11を全反射し、短波長成分を透過させる。

請求項（抜粋）：

X線を人工多層膜格子により回折させる光学系を有するX線分析装置において、X線の一部を全反射させて波長の長いX線の成分を減少させるとともに、波長の短いX線を透過させるX線用ハーフミラーをX線の光路に設けたことを特徴とするX線分析装置。