特許
J-GLOBAL ID:200903095613100845
積層構造体及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-337616
公開番号(公開出願番号):特開2000-239827
出願日: 1999年11月29日
公開日(公表日): 2000年09月05日
要約:
【要約】【課題】 耐酸化性、耐塩素性、耐湿性、高屈折率、高光透過率等に優れた炭化ケイ素質被覆層を有することにより、特にCD-RW、DVD-RAM等の光ディスクの記録媒体に好適な積層構造体を提供する。【解決手段】 合金基材上に、スパッタリングにより形成された炭化ケイ素質被覆層を有し、該炭化ケイ素質被覆層の光透過率が70%以上であることを特徴とする積層構造体である。合金基材が、磁性合金又は相変化合金である態様、炭化ケイ素質被覆層の表面に存在する不純物の比率が1.0×1012atoms/cm2以下である態様、炭化ケイ素質被覆層の厚みが10〜100nmである態様、などが好ましい。
請求項(抜粋):
合金基材上に、スパッタリングにより形成された炭化ケイ素質被覆層を有し、該炭化ケイ素質被覆層の光透過率が70%以上であることを特徴とする積層構造体。
IPC (7件):
C23C 14/06
, C23C 14/34
, G11B 7/24 511
, G11B 7/24 534
, G11B 7/24 535
, G11B 7/24
, G11B 7/26 531
FI (8件):
C23C 14/06 B
, C23C 14/34 U
, C23C 14/34 A
, G11B 7/24 511
, G11B 7/24 534 J
, G11B 7/24 535 C
, G11B 7/24 535 G
, G11B 7/26 531
引用特許:
審査官引用 (5件)
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特開平1-251358
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炭化ケイ素膜付きガラス基板
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-327792
出願人:ホーヤ株式会社
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炭化ケイ素焼結体及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-041048
出願人:株式会社ブリヂストン
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特開平1-251358
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特表平5-501587
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