特許

J-GLOBAL ID：200903095613396213

高周波四重極加速装置

発明者： 日下 卓也 ,  井上 憲一 ,  古川 行人 ,  鈴木 敏司 ,  今中 博文 ,  寺田 充夫
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-307144
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163199
出願日： 1992年11月17日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【目的】 筐体内に共振回路を構成して,電力損失に係る熱歪みの影響を少なくして電極固定精度の確保を容易にした高周波四重極電極加速装置を提供する。【構成】 四重極電極1,2,3,4が筐体16内壁に近い位置に配置されるので,これを支持する第1及び第2の金属台18,19の筐体内壁からの距離は短く,熱歪みの影響が少なく,冷却構造を簡易に構成することができる。第1及び第2の金属台18,19には,それぞれ第1及び第2の金属板20,21が接続され,各金属板20,21は所定間隔で近接配置されるので,板面間の静電容量によりコンデンサを構成し,第1の金属台18及び第2の金属板21は筐体に直結されてインダクタを構成する。筐体16内に共振回路を構成するに際しても,四重極電極の配置位置が筐体内壁の近接位置であるので,大きな容量のコンデンサ及びインダクタを空間的にまとめて構築することができ,装置の小型化が可能になる。

請求項（抜粋）：

相対向する2対の電極が十字方向に配置された四重極電極を筒状の筐体内部の軸方向に配設し,コンデンサ及びインダクタを具備してなる共振回路から前記四重極電極に高周波電力を供給し,四重極電極間を通過させる荷電粒子を任意の速度に加速する高周波四重極加速装置において,前記四重極電極の一方向に対向配置された電極を支持する複数の第1の金属台と,前記四重極電極の他方向に対向配置された電極を支持する複数の第2の金属台とを,前記筐体の軸心から半径方向に偏心した位置に前記軸方向に所定間隔で配置すると共に,前記第1の金属台に直結された第1の金属板と,前記第2の金属台に導電性弾性材からなる高周波コンタクトを介して接続された第2の金属板とを,前記第1の金属台と第2の金属台との配列方向に所定の間隔で前記筐体の軸方向に配設して前記コンデンサを構成し,前記第1の金属台及び第2の金属板を前記筐体に直結させて前記第1の金属板及び第2の金属板と筐体とで前記インダクタを構成したことを特徴とする高周波四重極加速装置。