特許

J-GLOBAL ID：200903095630914295

ガリウム含有窒化物のバルク単結晶の製造法

発明者： ロベルト・ドヴィリニスキ ,  ロマン・ドラジニスキ ,  イエジ・ガルチニスキ ,  レシェック・シェシュプトフスキ ,  神原 康雄
出願人/特許権者： アンモノ・スプウカ・ジ・オグラニチョノン・オドポヴィエドニアウノシツィオン ,  日亜化学工業株式会社
代理人 (1件)： 豊栖 康弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-143449
公開番号（公開出願番号）：特開2003-040699
出願日： 2002年05月17日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】超臨界アンモニアを用いてガリウム含有窒化物のバルク単結晶を得ること。【解決手段】オートクレーブ中に、アルカリ金属イオンを含有する超臨界溶媒を形成し、これに、フィードストックを溶解して超臨界溶液を生成し、同時あるいは個別にシード面にガリウム含有窒化物を結晶させる。この方法は、対流管理装置2が設置された超臨界溶媒を生成するためのオートクレーブ1を用いて実施される。前記オートクレーブは、加熱措置5または冷却装置6を備えた炉ユニット4に投入される。

請求項（抜粋）：

ガリウム含有窒化物のバルク単結晶を得る方法であって、オートクレイブ中にアルカリ金属イオンを含有する超臨界アンモニア溶媒を形成し、該超臨界アンモニア溶媒中にガリウム含有フィードストックを溶解させ、超臨界溶媒へのガリウム含有フィードストックの溶解時より高温および/またはより低圧の条件において上記フィードストックの溶解した超臨界溶液からガリウム含有窒化物をシード面に結晶させることを特徴とする方法。

IPC (2件)：

C30B 29/38 ,  C30B 7/10

FI (2件)：

C30B 29/38 D ,  C30B 7/10

Fターム (8件)：

4G077AA02 ,  4G077BE11 ,  4G077BE15 ,  4G077CB03 ,  4G077CB04 ,  4G077EA02 ,  4G077KA03 ,  4G077KA11