電子線装置および画像形成装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-023102
公開番号（公開出願番号）：特開2003-223857
出願日： 2002年01月31日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】新たなプロセスでスペーサ電極を形成することなく、ビームずれを補正することが可能な優れた表示品位を備え、かつ歩留まりの良いスペーサを有する電子線装置および画像形成装置を提供する。【解決手段】スペーサ1020は、電子源と電子線被照射部材との間で起立する露出表面に凹凸が形成され、この凹凸上に帯電防止膜11が被覆された構成であり、電子源と接し、電子源に近い領域あるいは電子線被照射部材に近い領域に上記の凹凸よりも平坦な部位が設けられている。この帯電防止膜11は、電子源と平行な面に垂直な法線に対して所定の角度を有する凹凸形状の一部のシート抵抗値がその他の部分よりも高くなっている。

請求項（抜粋）：

電子放出素子を具備する電子源と、前記電子源から放出された電子を制御する電極と、前記電子源から放出された電子が照射される電子線被照射部材と、前記電子源と前記電子線被照射部材との間に配置された耐大気圧支持構造体としてのスペーサとを有する電子線装置において、前記スペーサは、基板表面に所定の凹凸形状が形成され、該凹凸形状が同一成分の連続的に形成された導電性を有する導電膜で被覆され、前記電子源と接し、前記基板表面の前記電子源に近い電子源側領域あるいは前記電子線被照射部材に近い電子線被照射部材側領域に前記凹凸形状よりも平坦な部分を設け、前記導電膜は、前記電子源と平行な面に垂直な法線に対して所定の角度を有する前記凹凸形状の一部分のシート抵抗値がその他の部分よりも高いことを特徴とする電子線装置。

IPC (3件)：

H01J 29/88 , H01J 29/87 , H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 29/88 , H01J 29/87 , H01J 31/12 C

Fターム (15件)：

5C032AA07 , 5C032CC10 , 5C032DD10 , 5C032DE01 , 5C032DE05 , 5C032DF05 , 5C032DG02 , 5C036EE09 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG31 , 5C036EH08 , 5C036EH18 , 5C036EH26

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