特許
J-GLOBAL ID：200903095644762412
荷電ビーム装置、電子ビーム装置及び電子ビーム描画装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-292656
公開番号（公開出願番号）：特開2002-100317
出願日： 2000年09月26日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 この発明は、放電電流の十分な抑制と高速な偏向電圧の変化を両立させることを課題とする。【解決手段】 この発明は、電子ビーム6を偏向する電極2に偏向電圧を供給する電源5と電極2とを接続するケーブル4を、高抵抗体3を介して電極2に接続して構成される。電極には放電抑制抵抗となる高低抗体が直接接続され、ケーブル浮遊静電容量に供給される電荷量が放電抑制抵抗で制限されることはなくなる。
請求項（抜粋）：
荷電ビームを発生する発生源と、前記発生源から発生された荷電ビームの照射面上でのフォーカスと位置を印加電圧に基づいて制御する制御電極と、前記制御電極に制御電圧を印加する電源と、前記制御電極を前記電源に接続するケーブルとを具備した荷電ビーム装置において、前記制御電極と前記ケーブルを高抵抗体を介して接続したことを特徴とする荷電ビーム装置。
IPC (5件)：
H01J 37/248
, G03F 7/20 504
, H01J 37/21
, H01J 37/305
, H01L 21/027
H01J 37/248 Z
, G03F 7/20 504
, H01J 37/21 Z
, H01J 37/305 B
, H01L 21/30 541 B
2H097BB03
, 2H097CA16
, 2H097EA01
, 2H097GB04
, 2H097LA10
, 5C033GG02
, 5C033MM07
, 5C034BB02
, 5C034BB04
, 5F056CB11
, 5F056CB31
, 5F056EA10
