シリコン溶融用複合石英坩堝およびそれを用いた単結晶の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-065575
公開番号（公開出願番号）：特開平9-255477
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：

【要約】【課題】単結晶成長切れを防止することのできるシリコン溶融用石英坩堝の提供。【解決手段】?@二重構造坩堝としてカーボン坩堝4 の内部に挿入されるシリコン溶融用石英坩堝1 であって、直胴部1aおよび底部1cが半透明石英ガラス、下部の屈曲部1bを含む部分が透明石英ガラスであるシリコン溶融用複合石英坩堝。?Aシリコン原料を減圧された不活性雰囲気中で溶融し、種結晶を用いて上方に引き上げながら凝固させるシリコン単結晶の製造方法において、カーボン坩堝の内部に挿入される石英坩堝として、上記の?@に示す複合石英坩堝を用いて結晶を引き上げるシリコン単結晶の製造方法。

請求項（抜粋）：

二重構造坩堝としてカーボン坩堝の内部に挿入されるシリコン溶融用石英坩堝であって、直胴部および底部が半透明石英ガラス、下部の屈曲部を含む部分が透明石英ガラスであることを特徴とするシリコン溶融用複合石英坩堝。

IPC (3件)：

C30B 15/10 , C03B 20/00 , C30B 29/06 502

FI (3件)：

C30B 15/10 , C03B 20/00 , C30B 29/06 502 B

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