特許

J-GLOBAL ID：200903095649239289

チタン合金製真空容器及び真空部品

発明者： 栗巣 普揮 ,  松浦 満 ,  山本 節夫 ,  部坂 正樹 ,  武村 厚
出願人/特許権者： 有限会社 山口ティー・エル・オー ,  新光産業株式会社 ,  株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 高木 義輝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-088100
公開番号（公開出願番号）：特開2002-282673
出願日： 2001年03月26日
公開日（公表日）： 2002年10月02日
要約：

【要約】【課題】 真空排気から短時間で超高真空を容易に達成することのできるチタン合金製真空容器及び真空部品を提供することを目的とする。【解決手段】 組織が概ね10μm以下に微粒化し緻密であり、且つ、少なくても真空に曝せれる表面の表面粗度を50nm以下としたチタン合金製真空容器及び真空部品であり、好ましくは、表面粗度を10nm以下とし、硬度を230Hv以下、310Hv以下とし、表面に薄いチタンの酸化層或いは窒化層などの不動態皮膜を形成することもできる。かかる真空容器及び真空部品に望ましいチタン合金は、鉄0.3wt%〜0.5wt%、及び酸素0.3wt%〜0.5wt%を含有し、残部がTi及び不可避不純物からなるチタン合金である。

請求項（抜粋）：

主要部をチタン合金で作製された真空容器及び真空部品であって、該チタン合金は、組織が概ね10μm以下に微粒化し緻密であり、且つ、少なくても真空に曝せれる表面の表面粗度が50nm以下であることを特徴とするチタン合金製真空容器及び真空部品

IPC (5件)：

B01J 3/00 ,  B01J 3/03 ,  C22C 14/00 ,  C23C 8/12 ,  C23C 16/44

FI (5件)：

B01J 3/00 K ,  B01J 3/03 J ,  C22C 14/00 Z ,  C23C 8/12 ,  C23C 16/44 B

Fターム (5件)：

4K030EA11 ,  4K030KA08 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  4K030LA15

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 金属酸化物のコーティング方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-271303   出願人：三菱重工業株式会社
• 超高真空容器及び超高真空部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-075843   出願人：真空冶金株式会社