特許
J-GLOBAL ID：200903095655567476
圧電振動子の製造方法、圧電振動子及び電子部品
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-256185
公開番号（公開出願番号）：特開2008-079033
出願日： 2006年09月21日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：
【課題】エッチングにより、水晶振動子のマスクである金属膜に対して水晶振動子の溝部に対応する開口部を形成するにあたり、金属膜の外周縁が波打ったようにエッチングされるため、水晶振動子へ溝部を形成する際、水晶振動子は、前記金属膜に倣って形成されて、外観不良や寸法不良となってしまうこと。【解決手段】金属膜に対して水晶振動子の溝部に対応する開口部を形成する前に、金属膜の外形を水晶振動子の外形よりも小さく形成しておき、その後金属膜のエッチングと水晶振動子のエッチングとを行う。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基部から伸び出している複数の振動腕部の各々に溝部が形成されている圧電振動子の製造方法において、
圧電基板である基板の表面に金属膜を形成する工程と、
この金属膜の表面に、圧電振動子の形状部分が残るようにパターニングされたレジスト膜を形成して、金属膜に対してエッチングによりパターンを形成する工程と、
前記レジスト膜を全て剥離する工程と、
前記金属膜の表面に、前記金属膜のパターンの外形よりも片側3μm〜12μm小さい外形と、振動腕部の溝部に相当する部分が開口した開口部と、を有するパターンのレジスト膜を形成する工程と、
前記基板をエッチング液に接触させて、前記金属膜をマスクとして圧電振動子の外形を形成する工程と、
前記レジスト膜をマスクとして、前記振動部の溝部に相当する部分の金属膜を除去すると共に、前記レジスト膜の外形よりも外側の金属膜を除去するエッチング工程と、
前記基板をエッチング液に接触させて、前記金属膜をマスクとして、前記複数の振動腕部に各々溝部を形成すると共に振動腕部における金属膜の外縁よりも外側にはみ出ている部分を除去することにより、当該振動腕部の外形を前記金属膜の外形に応じた形状にエッチングする工程と、を含むことを特徴とする圧電振動子の製造方法。
IPC (6件)：
H03H 3/02
, H03H 9/19
, H03H 9/215
, H01L 41/22
, H01L 41/09
, H01L 41/18
H03H3/02 D
, H03H9/19 J
, H03H9/215
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101A
5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108CC09
, 5J108CC12
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108EE18
, 5J108GG03
, 5J108KK01
, 5J108MM15
, 5J108NA03
