特許

J-GLOBAL ID：200903095656964320

ベーク方法、ベーク装置および液晶表示装置の製造方法

発明者： 坊下 純二
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-164477
公開番号（公開出願番号）：特開2002-359175
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】 感光性樹脂膜のベーク方法において、ベーク時に生じる感光性樹脂膜の加熱温度ムラを抑制すること。【解決手段】 基板上に塗布された感光性樹脂膜をベーク炉内でベークするベーク方法において、吸排気をベーク炉上部で集中して行うことで、ベーク処理で発生する感光性樹脂膜の加熱温度ムラを抑制することができる。

請求項（抜粋）：

基板上に塗布された感光性樹脂膜をベーク炉内でベークするベーク方法であって、前記ベーク炉外から気体を吸気するとともに前記ベーク炉内の気体を排出する際、前記吸排気を前記ベーク炉上部で集中して行うベーク方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B05D 3/02 ,  G02F 1/13 101

FI (3件)：

B05D 3/02 B ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/30 567

Fターム (13件)：

2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA08 ,  2H088MA04 ,  2H088MA20 ,  4D075BB23Z ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC22 ,  4D075DC24 ,  4D075EA05 ,  4D075EA45 ,  5F046KA04